|
Lecturer(s)
|
-
Vlček Jaroslav, Prof. RNDr. CSc.
|
|
Course content
|
Basic discharge theory (Langevin equation, DC- and AC-generated plasma). Breakdown of a gas and ignition of a discharge (Townsed discharge theory, Paschen law, discharge ignition in AC field). Concepts of glow and arc discharges. DC glow discharges (typical structure, cathode fall region). RF discharges (rf electrode bias, Koenig-Maissel model, substitute circuit). Interaction of plasma with solid surface (ion-surface interactions, secondary electrons emission). Chemical reaction in plasma and on solid surfaces (enthalpy of chemical reactions, system entropy, Gibbs potential, chemical equilibrium, Guldberg-Waage law, chemical equilibrium constant, processes on solid surfaces and their kinetics).
|
|
Learning activities and teaching methods
|
Lecture, Practicum
- Contact hours
- 65 hours per semester
- Preparation for an examination (30-60)
- 60 hours per semester
- Preparation for comprehensive test (10-40)
- 35 hours per semester
|
| prerequisite |
|---|
| Knowledge |
|---|
| vyjmenovat a popsat základní fyzikální veličiny z mechaniky, termodynamiky, kmitů a vlnění, elektřiny, magnetismu, elektromagnetického vlnění, elektrických obvodů, atomové fyziky, fyziky plazmatu |
| formulovat nejdůležitější vztahy z mechaniky, termodynamiky, kmitů a vlnění, elektřiny, magnetismu, elektromagnetického vlnění, elektrických obvodů, atomové fyziky, fyziky plazmatu |
| definovat základní matematické pojmy matematické analýzy ve vícerozměrném prostoru, lineární algebry a teorie pravděpodobnosti |
| Skills |
|---|
| využít základní fyzikální vztahy při řešení úloh z mechaniky, termodynamiky, kmitů a vlnění, elektřiny, magnetismu, elektromagnetického vlnění, elektrických obvodů, atomové fyziky, fyziky plazmatu |
| aplikovat základní matematické pojmy matematické analýzy ve vícerozměrném prostoru, lineární algebry a teorie pravděpodobnosti při odvozování pokročilých vztahů mezi fyzikálními veličinami |
| měřit fyzikální veličiny popisující elektrické obvody a magnetická pole |
| Competences |
|---|
| N/A |
| N/A |
| learning outcomes |
|---|
| Knowledge |
|---|
| formulovat fyzikální zákony klíčové pro zapálení výboje, jeho strukturu, interakce plazmatu s povrchy pevných látek a chemické reakce |
| popsat procesy v plazmatu a na povrchu pevných látek ponořených do plazmatu |
| zhodnotit praktické důsledky fyzikálních zákonů klíčových pro zapálení výboje, jeho strukturu, interakce plazmatu s povrchy pevných látek a chemické reakce |
| Skills |
|---|
| použít fyzikální zákony klíčové pro zapálení výboje, jeho strukturu, interakce plazmatu s povrchy pevných látek a chemické reakce pro popis procesů v plazmatu a na povrchu pevných látek ponořených do plazmatu |
| navrhnout aplikaci různých typů výbojů s ohledem na použitý zdroj napětí a procesní parametry |
| aplikovat uvedené koncepty v jiných oblastech kde se používají fyzikální technologie |
| Competences |
|---|
| N/A |
| teaching methods |
|---|
| Knowledge |
|---|
| Lecture |
| Practicum |
| Skills |
|---|
| Lecture |
| Practicum |
| Competences |
|---|
| Lecture |
| Practicum |
| assessment methods |
|---|
| Knowledge |
|---|
| Combined exam |
| Skills |
|---|
| Combined exam |
| Competences |
|---|
| Combined exam |
|
Recommended literature
|
-
Wiley-Interscience Publication,. New York, 1994.
-
Cuomo, J. J.; Rossnagel, Stephen M.; Westwood, William D. Handbook of plasma processing technology : fundamentals, etching, deposition, and surface interactions. Park Ridge : Noyes Publications, 1990. ISBN 0-8155-1220-1.
-
Chapman, Brian. Glow discharge processes : sputtering and plasma etching. New York : John Wiley & Sons, 1980. ISBN 0-471-07828-X.
-
Konuma, Mitsuharu. Plasma techniques for film deposition. Harrow : Alpha Science International Ltd., 2005. ISBN 1-84265-151-X.
-
Lieberman, Michael A.; Lichtenberg, Allan J. Principles of plasma discharges and materials processing. c. 1994. New York : John Wiley & Sons, 1994. ISBN 0-471-00577-0.
-
Vlček, J. Fyzikálně-chemické základy plazmových technologií.
|