Tato práce je zaměřena na reaktivní depozici V1-xWxO2 termochromických povlaků pomocí vysokovýkonového pulzního magnetronového naprašování. Jsou uvedeny průmyslové nároky na termochromické povlaky a jejich možné dosažení využitím dopování dalších prvků a antireflexní vrstvy. Mezi často dopované prvky patří wolfram, který efektivně snižuje přechodovou teplotu. Antireflexní vrstvy slouží zejména k vylepšení optických vlastností. Popsána je také depoziční aparatura a analytické metody, jako jsou rentgenová difrakce, elipsometrie, spektrofotometrie a vlnově disperzní spektroskopie. V experimentální části byly připraveny vzorky ZrO2/V1-xWxO2/ZrO2. Je ukázán průběh transmitance a porovnání vlivu depozičních parametrů na technologickou náročnost procesu
Anotace v angličtině
This thesis deals with reactive deposition of V1-xWxO2 thermochromic films using High Power Impulse Magnetron Sputtering. The industrial requirements are given for the thermochromic films alongside with possibilities on how to reach them, like doping of other elements and antireflection coating. Tungsten is often used as co-doped element as an effective way how to decrease the transition temperature. Antireflection coating is used mainly to improve the optical properties. The description of deposition system is given as well as the description of analytical methods such as X-ray diffraction, ellipsometry, spectrophotometry and wavelength dispersive spectroscopy. Samples of ZrO2/V1-xWxO2/ZrO2 were prepared in experimental part. The transmittance and the comparison of the influence of deposition parameters on the technological difficulty of deposition process are given.
vanadium dioxide, thermochromic coatings, antireflection layers, doping of tungsten, smart windows
Rozsah průvodní práce
66 s.
Jazyk
CZ
Anotace
Tato práce je zaměřena na reaktivní depozici V1-xWxO2 termochromických povlaků pomocí vysokovýkonového pulzního magnetronového naprašování. Jsou uvedeny průmyslové nároky na termochromické povlaky a jejich možné dosažení využitím dopování dalších prvků a antireflexní vrstvy. Mezi často dopované prvky patří wolfram, který efektivně snižuje přechodovou teplotu. Antireflexní vrstvy slouží zejména k vylepšení optických vlastností. Popsána je také depoziční aparatura a analytické metody, jako jsou rentgenová difrakce, elipsometrie, spektrofotometrie a vlnově disperzní spektroskopie. V experimentální části byly připraveny vzorky ZrO2/V1-xWxO2/ZrO2. Je ukázán průběh transmitance a porovnání vlivu depozičních parametrů na technologickou náročnost procesu
Anotace v angličtině
This thesis deals with reactive deposition of V1-xWxO2 thermochromic films using High Power Impulse Magnetron Sputtering. The industrial requirements are given for the thermochromic films alongside with possibilities on how to reach them, like doping of other elements and antireflection coating. Tungsten is often used as co-doped element as an effective way how to decrease the transition temperature. Antireflection coating is used mainly to improve the optical properties. The description of deposition system is given as well as the description of analytical methods such as X-ray diffraction, ellipsometry, spectrophotometry and wavelength dispersive spectroscopy. Samples of ZrO2/V1-xWxO2/ZrO2 were prepared in experimental part. The transmittance and the comparison of the influence of deposition parameters on the technological difficulty of deposition process are given.
vanadium dioxide, thermochromic coatings, antireflection layers, doping of tungsten, smart windows
Zásady pro vypracování
Seznámit se s problematikou a současným stavem v oblasti termochromických povlaků na bázi VO2 a jejich přípravy pomocí pulzního reaktivního magnetronového naprašování.
Seznámit se s experimentálním zařízením pro přípravu tenkých vrstev s pulzním řízením toku reaktivního plynu a s přístroji pro analýzu tenkých vrstev na Katedře fyziky.
Provést pod dohledem přípravu vybraných povlaků na bázi VO2 a jejich charakterizaci.
Kvalitativně vyšetřit vztahy mezi parametry depozičního procesu a vlastnostmi připravených povlaků.
Zásady pro vypracování
Seznámit se s problematikou a současným stavem v oblasti termochromických povlaků na bázi VO2 a jejich přípravy pomocí pulzního reaktivního magnetronového naprašování.
Seznámit se s experimentálním zařízením pro přípravu tenkých vrstev s pulzním řízením toku reaktivního plynu a s přístroji pro analýzu tenkých vrstev na Katedře fyziky.
Provést pod dohledem přípravu vybraných povlaků na bázi VO2 a jejich charakterizaci.
Kvalitativně vyšetřit vztahy mezi parametry depozičního procesu a vlastnostmi připravených povlaků.