Tato práce je zaměřena na vybranou metodiku přípravy příčných řezů z tenkých vrstev pro transmisní elektronový mikroskop (TEM) a analýzu struktury tenkých AZO vrstev. Popis metodiky je doplněn poznatky a doporučeními, jak urychlit proces přípravy, avšak se zachováním požadované kvality. Na teoretický popis krystalických látek navazuje v experimentální části práce analýza difraktogramu a snímků vysokého rozlišení z TEM. Cílem této práce je zmapování dané struktury (hranice zrn, mřížkové parametry a vliv snížení obsahu kyslíku v tenké AZO vrstvě). Tato data budou sloužit pro další výzkum.
Anotace v angličtině
This bachelor thesis is focused on a selected method of cross-section thin films preparation and its analysis of AZO structure in transmission electron microscope (TEM). It includes advices on how to speed up the preparation process. The theoretical description of crystallographic substances is used in the experimental part of the thesis. The goal of this work is to describe the structure (grain boundaries, lattice parameters and effect of reduced oxygen in the thin AZO film). The data will be further exploited in future research.
Klíčová slova
TEM, transmisní elektronový mikroskop, tenké vrstvy, příprava příčných řezů, struktura AZO vrstev
Klíčová slova v angličtině
TEM, transmission electron microscope, thin films,
cross-section sample preparation, structure of AZO films
Rozsah průvodní práce
42 s. (69 589 znaků)
Jazyk
CZ
Anotace
Tato práce je zaměřena na vybranou metodiku přípravy příčných řezů z tenkých vrstev pro transmisní elektronový mikroskop (TEM) a analýzu struktury tenkých AZO vrstev. Popis metodiky je doplněn poznatky a doporučeními, jak urychlit proces přípravy, avšak se zachováním požadované kvality. Na teoretický popis krystalických látek navazuje v experimentální části práce analýza difraktogramu a snímků vysokého rozlišení z TEM. Cílem této práce je zmapování dané struktury (hranice zrn, mřížkové parametry a vliv snížení obsahu kyslíku v tenké AZO vrstvě). Tato data budou sloužit pro další výzkum.
Anotace v angličtině
This bachelor thesis is focused on a selected method of cross-section thin films preparation and its analysis of AZO structure in transmission electron microscope (TEM). It includes advices on how to speed up the preparation process. The theoretical description of crystallographic substances is used in the experimental part of the thesis. The goal of this work is to describe the structure (grain boundaries, lattice parameters and effect of reduced oxygen in the thin AZO film). The data will be further exploited in future research.
Klíčová slova
TEM, transmisní elektronový mikroskop, tenké vrstvy, příprava příčných řezů, struktura AZO vrstev
Klíčová slova v angličtině
TEM, transmission electron microscope, thin films,
cross-section sample preparation, structure of AZO films
Zásady pro vypracování
:
Teoretická část
Princip TEM, obraz a difrakce.
Kontrast na krystalických a amorfních vzorcích.
Základy krystalografie.
Praktická část
Příprava vzorků.
Napozorované výsledky, jejich analýza.
Diskuze, závěr.
Zásady pro vypracování
:
Teoretická část
Princip TEM, obraz a difrakce.
Kontrast na krystalických a amorfních vzorcích.
Základy krystalografie.
Praktická část
Příprava vzorků.
Napozorované výsledky, jejich analýza.
Diskuze, závěr.
Seznam doporučené literatury
KARLÍK M.: Úvod do transmisní elektronové mikroskopie, ČVUT, Praha, 2010
FIALA J., MENTL V., ŠUTTA P.: Struktura a vlastnosti materiálů, Praha, Academia, 2003
VALVODA V.,POLCAROVÁ M., LUKAČ P.: Základy strukturní analýzy, 1. vyd. Praha: Univerzita Karlova, 1992
MACEK K., HNILICA F., STARÝ V.: Experimentální metody v materiálovém inženýrství, Praha, ČVUT, 2008
MACEK K. a kol.: Materiálové inženýrství - cvičení, skripta ČVUT v Praze, Praha, 2003
Seznam doporučené literatury
KARLÍK M.: Úvod do transmisní elektronové mikroskopie, ČVUT, Praha, 2010
FIALA J., MENTL V., ŠUTTA P.: Struktura a vlastnosti materiálů, Praha, Academia, 2003
VALVODA V.,POLCAROVÁ M., LUKAČ P.: Základy strukturní analýzy, 1. vyd. Praha: Univerzita Karlova, 1992
MACEK K., HNILICA F., STARÝ V.: Experimentální metody v materiálovém inženýrství, Praha, ČVUT, 2008
MACEK K. a kol.: Materiálové inženýrství - cvičení, skripta ČVUT v Praze, Praha, 2003