Předmětem této práce je naprašování tenkých vrstev v systému Sn-Cu-O reaktivní magnetronovou depozicí v kyslíko-argonové atmosféře. Byl zkoumán vliv teploty substrátu a složení atmosféry na mechanické a tribologické vlastnosti vrstev.
Anotace v angličtině
The subject of this thesis is the deposition of Sn-Cu-O thin films by reactive magnetron sputtering in argon-oxygen atmosphere. The effect of substrate temperature Ts and composition of the atmosphere on mechanical and tribological properties of films was investigated.
Klíčová slova
naprašování, Sn-Cu-O, tribologie, mikrotvrdost, Youngův modul
Klíčová slova v angličtině
sputtering, Sn-Cu-O, tribology, microhardness, Young modulus
Rozsah průvodní práce
52 s. (65 000 znaků)
Jazyk
CZ
Anotace
Předmětem této práce je naprašování tenkých vrstev v systému Sn-Cu-O reaktivní magnetronovou depozicí v kyslíko-argonové atmosféře. Byl zkoumán vliv teploty substrátu a složení atmosféry na mechanické a tribologické vlastnosti vrstev.
Anotace v angličtině
The subject of this thesis is the deposition of Sn-Cu-O thin films by reactive magnetron sputtering in argon-oxygen atmosphere. The effect of substrate temperature Ts and composition of the atmosphere on mechanical and tribological properties of films was investigated.
Klíčová slova
naprašování, Sn-Cu-O, tribologie, mikrotvrdost, Youngův modul
Klíčová slova v angličtině
sputtering, Sn-Cu-O, tribology, microhardness, Young modulus
Zásady pro vypracování
Prostudovat současný stav problematiky vytváření tribologických vrstev metodou reaktivního magnetronového naprašování a získané poznatky shrnout v teoretické části.
Seznámit se s experimentálním zařízením pro přípravu tenkých vrstev a vybranými přístroji pro jejich analýzu.
Metodou reaktivního magnetronového naprašování připravit několik tribologických vrstev v systému Sn-Cu-O při zadaných depozičních podmínkách a vyhodnotit korelaci mezi depozičními parametry a vlastnostmi vrstev.
Zásady pro vypracování
Prostudovat současný stav problematiky vytváření tribologických vrstev metodou reaktivního magnetronového naprašování a získané poznatky shrnout v teoretické části.
Seznámit se s experimentálním zařízením pro přípravu tenkých vrstev a vybranými přístroji pro jejich analýzu.
Metodou reaktivního magnetronového naprašování připravit několik tribologických vrstev v systému Sn-Cu-O při zadaných depozičních podmínkách a vyhodnotit korelaci mezi depozičními parametry a vlastnostmi vrstev.
Seznam doporučené literatury
Dle pokynů vedoucího diplomové práce.
Seznam doporučené literatury
Dle pokynů vedoucího diplomové práce.
Přílohy volně vložené
-
Přílohy vázané v práci
grafy, schémata, tabulky
Převzato z knihovny
Ano
Plný text práce
Hodnocení z obhajoby práce
Výborně
Přílohy
Posudek(y) oponenta
Hodnocení vedoucího
Záznam průběhu obhajoby
Problémy adheze některých vzorků.
Příčiny větší drsnosti.
Vytvořující entalpie.