Tato práce si klade za cíl seznámit čtenáře s výsledky experimentů při přípravě kompozitních tenkých vrstev Al-O-N metodou reaktivního magnetronového naprašování s pulzním napouštěním plynu.
Pro účely této práce byly připraveny dvě série vzorků u nichž byly následně vyšetřovány mechanické a optické vlastnosti. Ze získaných dat byly poté odvozeny podmínky a depoziční parametry pro přípravu vrstev s požadovanými vlastnostmi.
Annotation in English
This thesis reports on the results of experiments of preparation of composite Al-O-N thin films prepared by the reactive magnetron sputtering using the pulsed oxygen flow. Two series of samples were prepared and their mechanical and optical features were evaluated. Obtained experimental data helped to set the proper deposition conditions for the films with required properties.
Keywords
magnetronové naprašování, tenké vrstvy, oxynitridy, plazmové technologie
Keywords in English
magnetron sputtering, thin films
Length of the covering note
57
Language
CZ
Annotation
Tato práce si klade za cíl seznámit čtenáře s výsledky experimentů při přípravě kompozitních tenkých vrstev Al-O-N metodou reaktivního magnetronového naprašování s pulzním napouštěním plynu.
Pro účely této práce byly připraveny dvě série vzorků u nichž byly následně vyšetřovány mechanické a optické vlastnosti. Ze získaných dat byly poté odvozeny podmínky a depoziční parametry pro přípravu vrstev s požadovanými vlastnostmi.
Annotation in English
This thesis reports on the results of experiments of preparation of composite Al-O-N thin films prepared by the reactive magnetron sputtering using the pulsed oxygen flow. Two series of samples were prepared and their mechanical and optical features were evaluated. Obtained experimental data helped to set the proper deposition conditions for the films with required properties.
Keywords
magnetronové naprašování, tenké vrstvy, oxynitridy, plazmové technologie
Keywords in English
magnetron sputtering, thin films
Research Plan
Prostudovat současnou literaturu týkající se reaktivního magnetronového naprašování s důrazem na využití pulzního napouštění reaktivního plynu a získané poznatky shrnout v teoretické části práce.
Seznámit se s experimentálním zařízením pro depozici tenkých vrstev a vybranými přístroji pro jejich analýzu a naučit se je používat pro charakterizaci vrstev připravených v rámci této diplomové práce.
Připravit vrstvy oxynitridu hliníku reaktivním naprašováním a prozkoumat vliv parametrů pulzního napouštění reaktivního plynu na jejich strukturu, složení a vlastnosti.
Research Plan
Prostudovat současnou literaturu týkající se reaktivního magnetronového naprašování s důrazem na využití pulzního napouštění reaktivního plynu a získané poznatky shrnout v teoretické části práce.
Seznámit se s experimentálním zařízením pro depozici tenkých vrstev a vybranými přístroji pro jejich analýzu a naučit se je používat pro charakterizaci vrstev připravených v rámci této diplomové práce.
Připravit vrstvy oxynitridu hliníku reaktivním naprašováním a prozkoumat vliv parametrů pulzního napouštění reaktivního plynu na jejich strukturu, složení a vlastnosti.
Recommended resources
Dle pokynů vedoucího diplomové práce.
Recommended resources
Dle pokynů vedoucího diplomové práce.
Enclosed appendices
-
Appendices bound in thesis
-
Taken from the library
Yes
Full text of the thesis
Thesis defence evaluation
Very Good
Appendices
Reviewer's report
Supervisor's report
Defence procedure record
Měření tloušťky vrstev-kontrola stejnosti tloušťky.
Vlivy podmiňující prvkové složení.
Afinita hliníku ke kyslíku a dusíku.
