Tato bakalářská práce je zaměřena na diagnostiku pulzních výbojů při depozici vrstev prostřednictvím optické emisní spektroskopie. V první části jsou popsány metody magnetronového naprašování, atomová a molekulová spektra a přístroje používané při optické emisní spektroskopii. Druhá část je věnována zkoumání spekter naměřených s použitím tantalového terče v atmosféře argonu v závislosti na střední hustotě výkonu v periodě při opakovací frekvenci pulzů napětí 500 Hz, délce pulzu 200 ?s, tlaku argonu 2 Pa a kolmé i podélné vzdálenosti kolimátoru od terče 20 mm. Dále byla zkoumána také závislost koncentrace zářivých stavů střední hustotě výkonu v periodě.
Annotation in English
The bachelor thesis is focused on diagnostics of pulsed magnetron discharges during the deposition of thin films by means of optical emission spectroscopy. The first part of the thesis is dedicated to methods of magnetron sputtering, atomic and molecular spectra and equipment for optical emission spectroscopy. The second part is devoted to investigation of spectra measured with the use of tantalum target in argon atmosphere in dependence on an average power loading in a period at a repetition frequency of 500 Hz, a length of the voltage pulse of 200 ?s, an argon pressure of 2 Pa and both a vertical and a longitudinal distance of the collimator from the target of 20 mm. Furthermore the dependence of a concentration of radiative states on an average power loading in a pulse is analysed.
Tato bakalářská práce je zaměřena na diagnostiku pulzních výbojů při depozici vrstev prostřednictvím optické emisní spektroskopie. V první části jsou popsány metody magnetronového naprašování, atomová a molekulová spektra a přístroje používané při optické emisní spektroskopii. Druhá část je věnována zkoumání spekter naměřených s použitím tantalového terče v atmosféře argonu v závislosti na střední hustotě výkonu v periodě při opakovací frekvenci pulzů napětí 500 Hz, délce pulzu 200 ?s, tlaku argonu 2 Pa a kolmé i podélné vzdálenosti kolimátoru od terče 20 mm. Dále byla zkoumána také závislost koncentrace zářivých stavů střední hustotě výkonu v periodě.
Annotation in English
The bachelor thesis is focused on diagnostics of pulsed magnetron discharges during the deposition of thin films by means of optical emission spectroscopy. The first part of the thesis is dedicated to methods of magnetron sputtering, atomic and molecular spectra and equipment for optical emission spectroscopy. The second part is devoted to investigation of spectra measured with the use of tantalum target in argon atmosphere in dependence on an average power loading in a period at a repetition frequency of 500 Hz, a length of the voltage pulse of 200 ?s, an argon pressure of 2 Pa and both a vertical and a longitudinal distance of the collimator from the target of 20 mm. Furthermore the dependence of a concentration of radiative states on an average power loading in a pulse is analysed.
Studium literatury o magnetronovém naprašování a optické emisní spektroskopii výbojového plazmatu.
Seznámit se se systémem optické emisní spektroskopie a jeho instalací v depozičním zařízení.
Naměřit optická emisní spektra pro různé výbojové podmínky.
Vyhodnotit naměřená optická emisní spektra a provést kvalitativní diskusi získaných výsledků.
Research Plan
Studium literatury o magnetronovém naprašování a optické emisní spektroskopii výbojového plazmatu.
Seznámit se se systémem optické emisní spektroskopie a jeho instalací v depozičním zařízení.
Naměřit optická emisní spektra pro různé výbojové podmínky.
Vyhodnotit naměřená optická emisní spektra a provést kvalitativní diskusi získaných výsledků.
Recommended resources
Dle pokynů vedoucího bakalářské práce.
Recommended resources
Dle pokynů vedoucího bakalářské práce.
Enclosed appendices
-
Appendices bound in thesis
illustrations, graphs, schemes, tables
Taken from the library
Yes
Full text of the thesis
Thesis defence evaluation
Excellent
Appendices
Reviewer's report
Supervisor's report
Defence procedure record
Vztah pro lineární disperzi.
Závislost obsazení excitačních vztahů.
Výběr emisních čar.
Proč závislost na hustotě energie a ne na intenzitě elektrického pole?