Předkládaná diplomová práce je zaměřena na vývoj transparentní vodivé vrstvy ZnO, která je využívána v tenkovrstvém solárním článku.
Úkolem práce bylo prostudovat současný stavu poznání elektrických vlastností oxidu zinku a vlivu příměsí. Seznámit se s procesem magnetronového naprašování a modifikovat depoziční parametry k dosažení nízké rezistivity a zároveň vysoké propustnosti ve využitelné části spektra.
Dále jsem analyzoval připravené vrstvy (tloušťka, struktura, rezistivita, propustnost) a zkoumal vliv depozičních parametrů na změny ve struktuře připravených vrstev a jejich vliv na elektrické a optické vlastnosti vrstev ZnO:Al.
Anotace v angličtině
This thesis deals with development of transparent conductive aluminium doped zinc oxide (ZnO:Al) layers, used in thin films and solar cells.
Task of the thesis was to study present state of art of electrical properties of zinc oxide and influence of texture. Meet with proces of magnetron sputtering modify parametres of the deposition and ato chieve low resistivity and equally hight transmission in available part of spektra.
I analysed the layers under study (thickness, structure, resistivity, transmission) to determine the influence of deposition parameters onto the resulting structure influencing the electrical and optical properties of aluminium doped zinc oxide layers.
Předkládaná diplomová práce je zaměřena na vývoj transparentní vodivé vrstvy ZnO, která je využívána v tenkovrstvém solárním článku.
Úkolem práce bylo prostudovat současný stavu poznání elektrických vlastností oxidu zinku a vlivu příměsí. Seznámit se s procesem magnetronového naprašování a modifikovat depoziční parametry k dosažení nízké rezistivity a zároveň vysoké propustnosti ve využitelné části spektra.
Dále jsem analyzoval připravené vrstvy (tloušťka, struktura, rezistivita, propustnost) a zkoumal vliv depozičních parametrů na změny ve struktuře připravených vrstev a jejich vliv na elektrické a optické vlastnosti vrstev ZnO:Al.
Anotace v angličtině
This thesis deals with development of transparent conductive aluminium doped zinc oxide (ZnO:Al) layers, used in thin films and solar cells.
Task of the thesis was to study present state of art of electrical properties of zinc oxide and influence of texture. Meet with proces of magnetron sputtering modify parametres of the deposition and ato chieve low resistivity and equally hight transmission in available part of spektra.
I analysed the layers under study (thickness, structure, resistivity, transmission) to determine the influence of deposition parameters onto the resulting structure influencing the electrical and optical properties of aluminium doped zinc oxide layers.
Prostudujte současný stav poznání elektrických a optických vlastností oxidu zinku - vliv příměsí.
Modifikujte depoziční parametry k dosažení nízké rezistivity a zároveň vysoké propustnosti ve využitelné části spektra.
Popište vliv depozičních parametrů na elektrické vlastnosti vrstev ZnO.
Popište vliv morfologie povrchu na aplikaci ZnO v solárním článku.
Zásady pro vypracování
Prostudujte současný stav poznání elektrických a optických vlastností oxidu zinku - vliv příměsí.
Modifikujte depoziční parametry k dosažení nízké rezistivity a zároveň vysoké propustnosti ve využitelné části spektra.
Popište vliv depozičních parametrů na elektrické vlastnosti vrstev ZnO.
Popište vliv morfologie povrchu na aplikaci ZnO v solárním článku.
Seznam doporučené literatury
J., Fiala, V., Mentl, P., Šutta: Struktura a vlastnosti materiálů, Academia, Praha, 2003, ISBN 80-200-1223-0
Ü., Özgür, Ya. I. Alivov, C. Liu, A. Teke, M. A. Reshchikov, S. Do an, V. Avrutin, S. - J. Cho, and H. Morkoç: A comprehensive review of ZnO materials and devices, J. Appl. Phys 98 (2005) 041301(103).
Ellmer, K.: Resistivity of polycrystalline zinc oxide films: current status and physical limit, in Journal of Physics D: Applied physics 34 (2001) 3097-3108
Seznam doporučené literatury
J., Fiala, V., Mentl, P., Šutta: Struktura a vlastnosti materiálů, Academia, Praha, 2003, ISBN 80-200-1223-0
Ü., Özgür, Ya. I. Alivov, C. Liu, A. Teke, M. A. Reshchikov, S. Do an, V. Avrutin, S. - J. Cho, and H. Morkoç: A comprehensive review of ZnO materials and devices, J. Appl. Phys 98 (2005) 041301(103).
Ellmer, K.: Resistivity of polycrystalline zinc oxide films: current status and physical limit, in Journal of Physics D: Applied physics 34 (2001) 3097-3108