Tato diplomová práce pojednává o mechanických vlastnostech nanokompozitních vrstev Al-Si-N připravených nevyváženým magnetronovým naprašováním ze slitinového terče Al-Si (90 hm.% Al, 10 hm.% Si) a jejich odolnosti proti vzniku trhlin při namáhání ohybem a indentací s vysokým zatížením (až 1 N). Zabývá se hledáním depozičních podmínek, při kterých bude možné připravit vrstvy systému Al-Si-N se zvýšenou odolností proti vzniku trhlin. Vrstvy by měly vykazovat (i) parametr vyjadřující elasticitu
H/E^*0.13, (ii) vysokou elastickou vratnost W_e80 %, (iii) makropnutí -1 GPa a (iv) střední potenciál substrátu v době pulzu U_sap|-50 | V, pro zvýšenou odolnost vůči vzniku trhlin.
Anotace v angličtině
This diploma thesis deals with the mechanical properties of nanocomposite thin films Al-Si-N (Al:Si = 90:10 hm. %) deposited by unbalanced magnetron sputtering, their resistance to cracking in bending test and indentation test with high load until 1 N. This work is mainly focused on seeking appropriate deposition conditions where could be possible to prepare thin films of Al-Si-N system, with enhanced resistance to creation cracks. This films should exhibit (i) a parameter expressing the elasticity of layer
H/E^*0.13, (ii) high elastic recovery W_e80 %, (iii) macrostress -1 GPa and (iv) average negative bias in pulse U_sap|-50 | V, for enhanced resistance to cracking.
Tato diplomová práce pojednává o mechanických vlastnostech nanokompozitních vrstev Al-Si-N připravených nevyváženým magnetronovým naprašováním ze slitinového terče Al-Si (90 hm.% Al, 10 hm.% Si) a jejich odolnosti proti vzniku trhlin při namáhání ohybem a indentací s vysokým zatížením (až 1 N). Zabývá se hledáním depozičních podmínek, při kterých bude možné připravit vrstvy systému Al-Si-N se zvýšenou odolností proti vzniku trhlin. Vrstvy by měly vykazovat (i) parametr vyjadřující elasticitu
H/E^*0.13, (ii) vysokou elastickou vratnost W_e80 %, (iii) makropnutí -1 GPa a (iv) střední potenciál substrátu v době pulzu U_sap|-50 | V, pro zvýšenou odolnost vůči vzniku trhlin.
Anotace v angličtině
This diploma thesis deals with the mechanical properties of nanocomposite thin films Al-Si-N (Al:Si = 90:10 hm. %) deposited by unbalanced magnetron sputtering, their resistance to cracking in bending test and indentation test with high load until 1 N. This work is mainly focused on seeking appropriate deposition conditions where could be possible to prepare thin films of Al-Si-N system, with enhanced resistance to creation cracks. This films should exhibit (i) a parameter expressing the elasticity of layer
H/E^*0.13, (ii) high elastic recovery W_e80 %, (iii) macrostress -1 GPa and (iv) average negative bias in pulse U_sap|-50 | V, for enhanced resistance to cracking.
Prostudovat současný stav problematiky magnetronového naprašování nitridových vrstev materiálů a vyšetřování jejich mechanických vlastností.
Seznámit se s procesem reaktivního magnetronového naprašování a metodami charakterizace tenkých vrstev.
Najít podmínky, při nichž se vytváří Al-Si-N vrstvy odolné proti vzniku trhlin a tyto vrstvy reprodukovatelně připravit.
Zásady pro vypracování
Prostudovat současný stav problematiky magnetronového naprašování nitridových vrstev materiálů a vyšetřování jejich mechanických vlastností.
Seznámit se s procesem reaktivního magnetronového naprašování a metodami charakterizace tenkých vrstev.
Najít podmínky, při nichž se vytváří Al-Si-N vrstvy odolné proti vzniku trhlin a tyto vrstvy reprodukovatelně připravit.