|
|
Hlavní nabídka Prohlížení IS/STAG
Nalezené předměty, počet: 1
Stránkování výsledků vyhledávání
Nalezeno 1 záznamů
Export do Xls
Informace o předmětu
KFY / FCPT
:
Popis předmětu
Pracoviště / Zkratka
|
KFY
/
FCPT
|
Akademický rok
|
2024/2025
|
Akademický rok
|
2024/2025
|
Název
|
Fyz-chem základy plazmových technologií
|
Způsob zakončení
|
Zkouška
|
Způsob zakončení
|
Zkouška
|
Akreditováno / Kredity
|
Ano,
6
Kred.
|
Forma zakončení
|
Kombinovaná
|
Forma zakončení
|
Kombinovaná
|
Rozsah hodin
|
Přednáška
3
[HOD/TYD]
Cvičení
2
[HOD/TYD]
|
Zápočet před zkouškou
|
Ano
|
Zápočet před zkouškou
|
Ano
|
Automatické uznávání zápočtu před zkouškou
|
Ne
|
Počítán do průměru
|
ANO
|
Vyučovací jazyk
|
Čeština
|
Obs/max
|
|
|
|
Automatické uznávání zápočtu před zkouškou
|
Ne
|
Letní semestr
|
6 / -
|
0 / -
|
0 / -
|
Počítán do průměru
|
ANO
|
Zimní semestr
|
0 / -
|
0 / -
|
0 / -
|
Opakovaný zápis
|
NE
|
Opakovaný zápis
|
NE
|
Rozvrh
|
Ano
|
Vyučovaný semestr
|
Letní semestr
|
Vyučovaný semestr
|
Letní semestr
|
Minimum (B + C) studentů
|
10
|
Volně zapisovatelný předmět |
Ano
|
Volně zapisovatelný předmět
|
Ano
|
Vyučovací jazyk
|
Čeština
|
Počet dnů praxe
|
0
|
Počet hodin kontaktní výuky |
|
Hodnotící stupnice |
1|2|3|4 |
Periodicita |
každý rok
|
Hodnotící stupnice pro zp. před zk. |
S|N |
Periodicita upřesnění |
|
Základní teoretický předmět |
Ano
|
Profilující předmět |
Ne
|
Základní teoretický předmět |
Ano
|
Hodnotící stupnice |
1|2|3|4 |
Hodnotící stupnice pro zp. před zk. |
S|N |
Nahrazovaný předmět
|
Žádný
|
Vyloučené předměty
|
Nejsou definovány
|
Podmiňující předměty
|
Nejsou definovány
|
Předměty informativně doporučené
|
Nejsou definovány
|
Předměty,které předmět podmiňuje
|
KFY/FPA
|
Graf četnosti udělených hodnocení studentům napříč roky:
Obrázek PNG
,
XLS
|
Cíle předmětu (anotace):
|
Vyložit vybrané fyzikální jevy a zákony klíčové pro zapálení výboje, jeho strukturu, interakce plazmatu s povrchy pevných látek a chemické reakce: jejich význam, důsledky a matematické vyjádření (kombinace s teoretickými cvičeními). Poskytnout teoretický základ pro studium specializovaných oborů využívajících plazmové technologie.
|
Požadavky na studenta
|
Zápočet-teoretická cvičení: test.
Zkouška: znalost látky z přednášky a příkladů ze cvičení.
Z důvodu průběžné aktualizace předmětu je pro uznání zápočtu při opakovaném zapsání předmětu (viz SZŘ čl. 24 odst. 3) nutné souhlasné vyjádření garanta předmětu.
|
Obsah
|
Elementární teorie výboje (Langevinova rovnice, plazma ve stacionárním a nestacionárním elektrickém poli). Průraz plynu a zapálení samostatného výboje (Townsendova teorie výboje, Paschenův zákon, zapálení výboje střídavým elektrickým polem). Základní charakteristika doutnavých a obloukových výbojů. Stejnosměrné doutnavé výboje (typická struktura, oblast katodového spádu). Radiofrekvenční výboje (vlastní předpětí RF elektrody, Koenig-Maisselův model, náhradní elektrický obvod). Interakce plazmatu s povrchem pevné látky (interakce iontů s povrchy, sekundární emise elektronů). Chemické reakce v plazmatu a na povrchu pevných látek (entalpie chemických reakcí, entropie systému, Gibbsův potenciál, chemická rovnováha, Guldberg-Waageův zákon, konstanta chemické rovnováhy, procesy na povrchu pevných látek a jejich kinetika).
|
Aktivity
|
|
Studijní opory
|
Studenti mají k dispozici skripta v elektronické podobě zpracovaná podle přednášek.
|
Garanti a vyučující
|
|
Literatura
|
-
Základní:
Vlček, J. Fyzikálně-chemické základy plazmových technologií.
-
Doporučená:
Chapman, Brian. Glow discharge processes : sputtering and plasma etching. New York : John Wiley & Sons, 1980. ISBN 0-471-07828-X.
-
Doporučená:
Cuomo, J. J.; Rossnagel, Stephen M.; Westwood, William D. Handbook of plasma processing technology : fundamentals, etching, deposition, and surface interactions. Park Ridge : Noyes Publications, 1990. ISBN 0-8155-1220-1.
-
Doporučená:
Konuma, Mitsuharu. Plasma techniques for film deposition. Harrow : Alpha Science International Ltd., 2005. ISBN 1-84265-151-X.
-
Doporučená:
Lieberman, Michael A.; Lichtenberg, Allan J. Principles of plasma discharges and materials processing. c. 1994. New York : John Wiley & Sons, 1994. ISBN 0-471-00577-0.
-
Doporučená:
Wiley-Interscience Publication,. New York, 1994.
-
On-line katalogy knihoven
|
Časová náročnost
|
Všechny formy studia
|
Aktivity
|
Časová náročnost aktivity [h]
|
Kontaktní výuka
|
65
|
Příprava na souhrnný test [6-30]
|
35
|
Příprava na zkoušku [10-60]
|
60
|
Celkem
|
160
|
|
Předpoklady
|
Odborné znalosti - pro úspěšné zvládnutí předmětu se předpokládá, že je student před zahájením výuky schopen: |
vyjmenovat a popsat základní fyzikální veličiny z mechaniky, termodynamiky, kmitů a vlnění, elektřiny, magnetismu, elektromagnetického vlnění, elektrických obvodů, atomové fyziky, fyziky plazmatu |
formulovat nejdůležitější vztahy z mechaniky, termodynamiky, kmitů a vlnění, elektřiny, magnetismu, elektromagnetického vlnění, elektrických obvodů, atomové fyziky, fyziky plazmatu |
definovat základní matematické pojmy matematické analýzy ve vícerozměrném prostoru, lineární algebry a teorie pravděpodobnosti |
Odborné dovednosti - pro úspěšné zvládnutí předmětu se předpokládá, že student před zahájením výuky dokáže: |
využít základní fyzikální vztahy při řešení úloh z mechaniky, termodynamiky, kmitů a vlnění, elektřiny, magnetismu, elektromagnetického vlnění, elektrických obvodů, atomové fyziky, fyziky plazmatu |
aplikovat základní matematické pojmy matematické analýzy ve vícerozměrném prostoru, lineární algebry a teorie pravděpodobnosti při odvozování pokročilých vztahů mezi fyzikálními veličinami |
měřit fyzikální veličiny popisující elektrické obvody a magnetická pole |
Obecné způsobilosti - před zahájením studia předmětu je student schopen: |
mgr. studium: používají své odborné znalosti, odborné dovednosti a obecné způsobilosti alespoň v jednom cizím jazyce, |
mgr. studium: samostatně a odpovědně se na základě rámcového zadání rozhodují v souvislostech jen částečně známých, |
|
Výsledky učení
|
Odborné znalosti - po absolvování předmětu prokazuje student znalosti: |
formulovat fyzikální zákony klíčové pro zapálení výboje, jeho strukturu, interakce plazmatu s povrchy pevných látek a chemické reakce |
popsat procesy v plazmatu a na povrchu pevných látek ponořených do plazmatu |
zhodnotit praktické důsledky fyzikálních zákonů klíčových pro zapálení výboje, jeho strukturu, interakce plazmatu s povrchy pevných látek a chemické reakce |
Odborné dovednosti - po absolvování předmětu prokazuje student dovednosti: |
použít fyzikální zákony klíčové pro zapálení výboje, jeho strukturu, interakce plazmatu s povrchy pevných látek a chemické reakce pro popis procesů v plazmatu a na povrchu pevných látek ponořených do plazmatu |
navrhnout aplikaci různých typů výbojů s ohledem na použitý zdroj napětí a procesní parametry |
aplikovat uvedené koncepty v jiných oblastech kde se používají fyzikální technologie |
Obecné způsobilosti - po absolvování předmětu je student schopen: |
mgr. studium: srozumitelně a přesvědčivě sdělují odborníkům i širší veřejnosti vlastní odborné názory, |
|
Hodnoticí metody
|
Odborné znalosti - odborné znalosti dosažené studiem předmětu jsou ověřovány hodnoticími metodami: |
Kombinovaná zkouška, |
Odborné dovednosti - odborné dovednosti dosažené studiem předmětu jsou ověřovány hodnoticími metodami: |
Kombinovaná zkouška, |
Obecné způsobilosti - obecné způsobilosti dosažené studiem předmětu jsou ověřovány hodnoticími metodami: |
Kombinovaná zkouška, |
|
Vyučovací metody
|
Odborné znalosti - pro dosažení odborných znalostí jsou užívány vyučovací metody: |
Přednáška založená na výkladu, |
Cvičení (praktické činnosti), |
Odborné dovednosti - pro dosažení odborných dovedností jsou užívány vyučovací metody: |
Přednáška založená na výkladu, |
Cvičení (praktické činnosti), |
Obecné způsobilosti - pro dosažení obecných způsobilostí jsou užívány vyučovací metody: |
Přednáška založená na výkladu, |
Cvičení (praktické činnosti), |
|
|
|
|