Předkládaná diplomová práce "Příprava a studium křemíkových multivrstevnatých superstruktur a-Si:H/SiO2 pro PV" se zabývá technikami přípravy tenkých vrstev (PVD, CVD, PECVD), metodami jejich identifikace (optickou a strukturní analýzou vrstev) pomocí Ramanovy spektroskopie, FTIR, XRD, UV-Vis spektrofotometrie a spektroskopické elipsometrie. V praktické části je popsána příprava substrátů a multivrstevnatých vzorků, jejich žíhání a následná analýza (z výše zmíněných metod). K této činnosti bylo použito vybavení na pracovišti NTC ZČU v Plzni.
Annotation in English
This diploma thesis "Preparation and study of silicon multilayer superstructures a-Si:H/SiO2 for PV" deals with the techniques of thin films (PVD, CVD, PECVD), methods of their identification (optical and structural analysis) using Raman spectroscopy, FTIR, XRD, UV-Vis spectrophotometry and spectroscopic ellipsometry. The practical part of this work describes the preparation of substrates and multilayered samples, subsequent their annealing and analysis (of the above methods). For this research, there were used facilities at NTC of University of West Bohemia in Pilsen.
Předkládaná diplomová práce "Příprava a studium křemíkových multivrstevnatých superstruktur a-Si:H/SiO2 pro PV" se zabývá technikami přípravy tenkých vrstev (PVD, CVD, PECVD), metodami jejich identifikace (optickou a strukturní analýzou vrstev) pomocí Ramanovy spektroskopie, FTIR, XRD, UV-Vis spektrofotometrie a spektroskopické elipsometrie. V praktické části je popsána příprava substrátů a multivrstevnatých vzorků, jejich žíhání a následná analýza (z výše zmíněných metod). K této činnosti bylo použito vybavení na pracovišti NTC ZČU v Plzni.
Annotation in English
This diploma thesis "Preparation and study of silicon multilayer superstructures a-Si:H/SiO2 for PV" deals with the techniques of thin films (PVD, CVD, PECVD), methods of their identification (optical and structural analysis) using Raman spectroscopy, FTIR, XRD, UV-Vis spectrophotometry and spectroscopic ellipsometry. The practical part of this work describes the preparation of substrates and multilayered samples, subsequent their annealing and analysis (of the above methods). For this research, there were used facilities at NTC of University of West Bohemia in Pilsen.
Charakterizujte pojem superstruktura a uveďte přednosti a možnosti její využití.
Seznamte se s přípravou substrátů, depoziční aparaturou určenou pro přípravu tenkých vrstev a s přístroji pro analýzu strukturních a optických vlastností zkoumaných vrstev.
Připravte sérii vzorků.
Změřte a vyhodnoťte základní optické parametry (propustnost, optickou šířku zakázaného pásu polovodiče, index lomu) z měření na UV/Vis spektrometru a spektroskopickém elipsometru a analyzujte mikrostrukturní parametry ze spektrometrického měření v infračervené oblasti (FTIR) a z Ramanovy spektroskopie.
Uveďte závěry pro oblast fotovoltaiky a fotoniky.
Research Plan
Charakterizujte pojem superstruktura a uveďte přednosti a možnosti její využití.
Seznamte se s přípravou substrátů, depoziční aparaturou určenou pro přípravu tenkých vrstev a s přístroji pro analýzu strukturních a optických vlastností zkoumaných vrstev.
Připravte sérii vzorků.
Změřte a vyhodnoťte základní optické parametry (propustnost, optickou šířku zakázaného pásu polovodiče, index lomu) z měření na UV/Vis spektrometru a spektroskopickém elipsometru a analyzujte mikrostrukturní parametry ze spektrometrického měření v infračervené oblasti (FTIR) a z Ramanovy spektroskopie.
Uveďte závěry pro oblast fotovoltaiky a fotoniky.
Recommended resources
Brendel, R.: Thin-Film Crystalline Silicon Solar Cells ? Physics and Technology. Wiley 2003, ISBN 978-3-527-40376-9
Singh, J.: Optical properties of Condensed Matter and Applications. John Wiley & Sons, Ltd 2007, ISBN 978-0-470-02192-7
Losurdo, M.: Defining and Analysing the Optical Properties of Materials at the Nanoscale. NanoCharM 2010, ISBN 978-3-901578-22-9
Recommended resources
Brendel, R.: Thin-Film Crystalline Silicon Solar Cells ? Physics and Technology. Wiley 2003, ISBN 978-3-527-40376-9
Singh, J.: Optical properties of Condensed Matter and Applications. John Wiley & Sons, Ltd 2007, ISBN 978-0-470-02192-7
Losurdo, M.: Defining and Analysing the Optical Properties of Materials at the Nanoscale. NanoCharM 2010, ISBN 978-3-901578-22-9