Hlavním cílem této práce je optimalizovat depozici ZnO:Al vrstev tak, aby mohly nahradit vrstvu ITO ve flexibilním nanogenerátoru napětí. V úvodu je popsán flexibilní nanogenerátor napětí na bázi ZnO nanostruktur. Dále je popsána problematika transparentních vodivých oxidů (TCO), jejich elektrické a optické vlastnosti a charakterizován je vybraný materiál: oxid zinečnatý dopovaný hliníkem. Předmětem experimentu je analýza vlivu nevodivé mezifázové vrstvy na vlastnosti vrstev AZO a analýza vzorků vytvořených současným naprašováním ze dvou terčů, kde je zkoumán vliv koncentrace kyslíku ve vrstvách na jejich vlastnosti.
Annotation in English
The main aim of this work is to optimize the deposition of ZnO:Al layer so that it can replace the ITO layer in the flexible nanogenerator. There is described a flexible nanogenerator based on ZnO nanostructures in the introduction. In the next part are described the transparent conductive oxides (TCOs), their electrical and optical properties and the selected material: aluminium dopped zinc oxide. The subject of the experimental part is to analyze the influence of the non-conducting interfacial layer on the properties of AZO layers and to analyze the samples created by co-sputtering from two targets, where the influence of the concentration of oxygen in the layers on their properties is investigated.
Keywords
Transparentní vodivé oxidy, tenké vrstvy ZnO:Al, elektrické vlastnosti, optické vlastnosti, strukturní vlastnosti, nanogenerátor napětí, magnetronové naprašování
Hlavním cílem této práce je optimalizovat depozici ZnO:Al vrstev tak, aby mohly nahradit vrstvu ITO ve flexibilním nanogenerátoru napětí. V úvodu je popsán flexibilní nanogenerátor napětí na bázi ZnO nanostruktur. Dále je popsána problematika transparentních vodivých oxidů (TCO), jejich elektrické a optické vlastnosti a charakterizován je vybraný materiál: oxid zinečnatý dopovaný hliníkem. Předmětem experimentu je analýza vlivu nevodivé mezifázové vrstvy na vlastnosti vrstev AZO a analýza vzorků vytvořených současným naprašováním ze dvou terčů, kde je zkoumán vliv koncentrace kyslíku ve vrstvách na jejich vlastnosti.
Annotation in English
The main aim of this work is to optimize the deposition of ZnO:Al layer so that it can replace the ITO layer in the flexible nanogenerator. There is described a flexible nanogenerator based on ZnO nanostructures in the introduction. In the next part are described the transparent conductive oxides (TCOs), their electrical and optical properties and the selected material: aluminium dopped zinc oxide. The subject of the experimental part is to analyze the influence of the non-conducting interfacial layer on the properties of AZO layers and to analyze the samples created by co-sputtering from two targets, where the influence of the concentration of oxygen in the layers on their properties is investigated.
Keywords
Transparentní vodivé oxidy, tenké vrstvy ZnO:Al, elektrické vlastnosti, optické vlastnosti, strukturní vlastnosti, nanogenerátor napětí, magnetronové naprašování
Generátor napětí na bázi ZnO nanosloupců - popis funkce
Analýza současného stavu použití transparentních vodivých vrstev pro flexibilní tenkovrstvá zařízení
Návrh postupu optimalizace ZnO:Al vrstev pro implementaci do nanogenerátoru napětí
Příprava vrstev ZnO:Al podle návrhu
Charakterizace vytvořených vrstev, zejména z hlediska struktury, elektrických a optických vlastností
Diskuse výsledků
Závěr
Research Plan
Generátor napětí na bázi ZnO nanosloupců - popis funkce
Analýza současného stavu použití transparentních vodivých vrstev pro flexibilní tenkovrstvá zařízení
Návrh postupu optimalizace ZnO:Al vrstev pro implementaci do nanogenerátoru napětí
Příprava vrstev ZnO:Al podle návrhu
Charakterizace vytvořených vrstev, zejména z hlediska struktury, elektrických a optických vlastností
Diskuse výsledků
Závěr
Recommended resources
J. Fiala, V. Mentl, P. Šutta, Struktura a vlastnosti materiálů Academia, Praha 2003, ISBN 80-200- 1223-0
K. Ellmer, R. Mientus,Carrier transport in polycrystalline ITO and ZnO:Al II: The influence of grain barriers and boundaries Thin Solid Films 516 (2008) 4620?4627
J. Briscoe, S. Dunn, Piezoelectric nanogenerators - a review of nanostructured piezoelectric energy harvesters NanoEnergy (2015) 15?29
R. Šejhlová, Diplomová práce, Elektrické a optické vlastnosti tenkých transparentních vodivých vrstev 2014, ZCU - FEL
Recommended resources
J. Fiala, V. Mentl, P. Šutta, Struktura a vlastnosti materiálů Academia, Praha 2003, ISBN 80-200- 1223-0
K. Ellmer, R. Mientus,Carrier transport in polycrystalline ITO and ZnO:Al II: The influence of grain barriers and boundaries Thin Solid Films 516 (2008) 4620?4627
J. Briscoe, S. Dunn, Piezoelectric nanogenerators - a review of nanostructured piezoelectric energy harvesters NanoEnergy (2015) 15?29
R. Šejhlová, Diplomová práce, Elektrické a optické vlastnosti tenkých transparentních vodivých vrstev 2014, ZCU - FEL
